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标题
Modeling and optimizing of laser-assisted waterjet process parameters for near-damage-free micromachining of monocrystalline silicon
激光辅助水射流近无损伤微加工单晶硅工艺参数建模与优化
相关领域
单晶硅 材料科学 硅 沟槽（工程） 脆性 激光器 表面微加工 光学 复合材料 光电子学 冶金 制作 医学 物理 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1177/09544054241245763
DOI
10.1177/09544054241245763 doi
其它 期刊：Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part B Journal of Engineering Manufacture
作者：Xuefei Liu; Chuanzhen Huang; Hanlian Liu; Dun Liu; Peng Yao; et al
出版日期：2024-04-22
求助人
srf0602. 在 2024-12-20 20:19:58 发布自天津，悬赏 10 积分
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