Suppression of boron-oxygen defects in Czochralski silicon by carbon co-doping

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标题	Suppression of boron-oxygen defects in Czochralski silicon by carbon co-doping 碳共掺杂抑制直拉硅中硼氧缺陷相关领域硅硼碳纤维氧气兴奋剂材料科学扩散杂质化学物理化学冶金光电子学复合材料热力学有机化学物理复合数
网址	https://doi.org/10.1063/1.4914889
DOI	10.1063/1.4914889 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yichao Wu; Xuegong Yu; Hang He; Peng Chen; Deren Yang 出版日期：2015-03-09
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