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 A comparison of different methods of characterizing EUV photoresist shrinkage 不同表征EUV光致抗蚀剂收缩率的方法比较
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期刊： 作者：Ramya Viswanathan; Scott Mansfield; Wenxin Li; Hongxin Zhang; Roger Cornell; et al 出版日期：2018-03-19 |
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