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Quantum chemistry model of surface reactions and kinetic model of diamond growth: Effects of CH3 radicals and C2H2 molecules at low-temperatures CVD
表面反应的量子化学模型和金刚石生长动力学模型:CH3自由基和C2H2分子对低温CVD的影响
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:Yuri Barsukov; Igor Kaganovich; Mikhail Mokrov; Alexander Khrabry 出版日期:2024-09-06 |
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