Advantage of Siconi Preclean over Wet Clean for Pre Salicide Applications Beyond 65nm Node

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标题	Advantage of Siconi Preclean over Wet Clean for Pre Salicide Applications Beyond 65nm Node 对于65nm节点以上的预硅化物应用，Siconi预清洗相对于湿式清洗的优势相关领域杀盐剂材料科学退火（玻璃）薄脆饼湿法清洗硅化物镍冶金微观结构化学气相沉积热稳定性光电子学硅化学工程化学工程类有机化学
网址	https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/4493117
DOI	10.1109/ISSM.2006.4493117 doi
求助人	Jackcaosky 在 2024-10-09 09:32:07 发布自四川，悬赏 10 积分
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