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书籍(章节) Dielectric Layers for MEMS Deposited at Room Temperature by HMDSO-PECVD
HMDSO-PECVD室温沉积MEMS介质层
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
复合材料
硅烷
基质(水族馆)
电介质
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弯曲
微电子机械系统
化学气相沉积
光电子学
海洋学
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期刊:Lecture notes in electrical engineering 作者:Paolo Colombi; A. Borgese; Marco Ferrari; Vittorio Ferrari 出版日期:2013-10-25 |
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