Effects of 2-mercaptopyridine and Janus Green B as levelers on electrical resistance of electrodeposited copper thin film for interconnects

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标题	Effects of 2-mercaptopyridine and Janus Green B as levelers on electrical resistance of electrodeposited copper thin film for interconnects 2-巯基吡啶和Janus Green B作为流平剂对互连用电沉积铜薄膜电阻的影响相关领域电镀退火（玻璃）薄板电阻杂质电阻率和电导率铜粒度硫黄杰纳斯材料科学薄膜冶金形态学（生物学）化学化学工程复合材料纳米技术图层（电子）电气工程有机化学工程类生物遗传学
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.03.012
DOI	10.1016/j.tsf.2019.03.012 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Yumei Zhang; Tao Hang; Mengya Dong; Yunwen Wu; Huiqin Ling; et al 出版日期：2019-05-01
求助人	yzy 在 2024-08-19 20:45:57 发布自江西，悬赏 10 积分
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