标题 |
Formation of Cobalt-BTA Complexes and Their Removal from Various Surfaces Relevant to Cobalt Interconnect Applications
钴-BTA络合物的形成及其从与钴互连应用相关的各种表面上的去除
相关领域
钴
化学机械平面化
十二烷基苯磺酸钠
水溶液
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无机化学
过硫酸钾
材料科学
乙二胺四乙酸
苯并三唑
锡
间苯二酚
化学
聚合
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有机化学
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复合材料
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Jihoon Seo; S. S. R. K. Hanup Vegi; C. K. Ranaweera; N. K. Baradanahalli; Ja-Hyung Han; et al 出版日期:2018-12-12 |
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