Significant improvement of n-contact performance and wall plug efficiency of AlGaN-based deep UV LEDs by atomic layer etching

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标题	Significant improvement of n-contact performance and wall plug efficiency of AlGaN-based deep UV LEDs by atomic layer etching 原子层刻蚀显著提高AlGaN基深紫外LED的n接触性能和壁塞效率相关领域蚀刻（微加工）图层（电子）材料科学发光二极管光电子学火花塞复合材料机械工程工程类
网址	https://doi.org/10.1364/ol.530719
DOI	10.1364/ol.530719 doi
其它	期刊：Optics letters/Optics index 作者：Zhiyuan Liu; Tingang Liu; Haicheng Cao; Zixian Jiang; Na Xiao; et al 出版日期：2024-07-05
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