Process optimization of 4H-SiC chemical mechanical polishing based on grey relational analysis

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标题	Process optimization of 4H-SiC chemical mechanical polishing based on grey relational analysis 基于灰色关联分析的4H-SiC化学机械抛光工艺优化相关领域化学机械平面化抛光灰色关联分析薄脆饼表面粗糙度转速材料科学磨料体积流量工艺优化粒子（生态学）泥浆粒径机械工程复合材料纳米技术机械化学工程类数学化学工程数理经济学地质学物理海洋学物理化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/acd9e5
DOI	10.1088/1361-6641/acd9e5 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Xinxing Ban; Tao Duan; Zhuangzhi Tian; Yunhe Li; Jianhui Zhu; et al 出版日期：2023-06-07
求助人	YUN 在 2024-07-09 15:00:18 发布自上海，悬赏 10 积分
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