Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive

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标题	Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive Couches minces纳米复合材料de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive 相关领域材料科学物理化学艺术计算机科学
网址	https://infoscience.epfl.ch/record/32605 AI链接 epfl.chdoi.org
DOI	10.5075/epfl-thesis-2129 doi
其它	期刊：作者：Matthieu Diserens 出版日期：2000-01-01
求助人	joseneo 在 2024-05-28 20:28:03 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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