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 Polymer link breakage of polyimide-film-surface using hydrolysis reaction accelerator for enhancing chemical–mechanical-planarization polishing-rate 利用水解反应促进剂破坏聚酰亚胺膜表面聚合物链路提高化学机械平面化抛光率
相关领域
化学机械平面化
均苯四甲酸二酐
聚酰亚胺
泥浆
化学工程
水解
材料科学
乙二胺
溶解
吸附
分解
化学反应
聚合物
抛光
化学
高分子化学
图层（电子）
复合材料
无机化学
有机化学
工程类
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| 其它 |
期刊：Scientific Reports 作者：Gi-Ppeum Jeong; Junseong Park; Seung‐Jae Lee; Pilsu Kim; Man-Hyup Han; et al 出版日期：2022-03-01 |
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