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Development and Application of Microelectronic Photoresist
微电子光刻胶的研制与应用
相关领域
光刻胶
抵抗
平版印刷术
材料科学
光刻
微电子
纳米技术
极紫外光刻
光电子学
图层(电子)
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期刊:Huaxue jinzhan 作者:Wei Wei; Jingcheng Liu; Hu Li; Qidao Mu; Xiaoya Liu 出版日期:2014-11-15 |
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