3D HfO2 Thin Film MEMS Capacitor with Superior Energy Storage Properties - 科研通

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标题	3D HfO2 Thin Film MEMS Capacitor with Superior Energy Storage Properties 具有优异储能性能的3D HfO2薄膜MEMS电容器相关领域电容器材料科学微电子微电子机械系统储能光电子学薄膜电容器电介质电气工程电压功率（物理）工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1002/adfm.202305733
DOI	10.1002/adfm.202305733 doi
其它	期刊：Advanced Functional Materials 作者：Yijun Zhang; Huifeng Zhao; Tianyi Yan; Wei Ren; Gang Niu; et al 出版日期：2023-07-14
求助人	YiAn-horizon 在 2024-09-24 21:58:05 发布自山东，悬赏 10 积分
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