Enhanced thickness uniformity of large-scale α-Ga2O3 epilayers grown by vertical hot-wall mist chemical vapor deposition

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标题	Enhanced thickness uniformity of large-scale α-Ga2O3 epilayers grown by vertical hot-wall mist chemical vapor deposition 垂直热壁薄雾化学气相沉积制备大尺寸α-Ga2O3外延膜的厚度均匀性增强相关领域材料科学雾外延化学气相沉积基质（水族馆）表面粗糙度图层（电子）表面光洁度蓝宝石沉积（地质）刚玉复合材料光电子学光学海洋学物理地质学古生物学气象学生物激光器沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.11.045
DOI	10.1016/j.ceramint.2021.11.045 doi
其它	期刊：Ceramics international 作者：Sunyoung Park; Minh‐Tan Ha; Kyoung-Ho Kim; Le Van Lich; Yun‐Ji Shin; et al 出版日期：2022-02-01
求助人	George 在 2024-05-07 21:19:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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