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标题
Growth of wafer scale continuous monolayer WS2 film with millimeter grain size
具有毫米晶圆尺寸的连续单层WS2薄膜的生长
相关领域
单层 薄脆饼 粒度 材料科学 化学气相沉积 纳米尺度 纳米技术 晶界 光电子学 半导体 拉曼散射 拉曼光谱 冶金 光学 微观结构 物理
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111091 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Feifei Lan; Ruixia Yang; Kewei Sun; Zenghua Wang; Ying Zhang; et al
出版日期:2022-04-11
求助人
赖飞阳 在 2024-09-13 08:31:35 发布自天津,悬赏 10 积分
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