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 Preparation and Structural Investigation of Ultra-Uniform Mo Films on a Si/SiO2 Wafer by the Direct-Current Magnetron Sputtering Method 直流磁溅法在Si/SiO2上制备超均匀Mo薄膜及其结构研究
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期刊：Crystal Growth & Design 作者：Zhengwang Cheng; Aobo Wang; Huating Bo; Mei Wang; Jing He; et al 出版日期：2023-01-09 |
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