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The deposition of Ir/YSZ double-layer thin films on silicon by PLD and magnetron sputtering: Growth kinetics and the effects of oxygen
PLD和磁控溅射在硅上沉积Ir/YSZ双层薄膜:生长动力学和氧的影响
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期刊:Results in physics 作者:Guangdi Zhou; Pengfei Qu; Xiaodi Huo; Peng Jin; Ju Wu; et al 出版日期:2023-04-01 |
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