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A Breakthrough Method for the Effective Conditioning of PVA Brush Used for Post-CMP Process
用于CMP后工艺的PVA电刷有效调节的突破性方法
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网址
https://doi.org/10.1149/2.0111906jss
DOI
10.1149/2.0111906jss doi
其它 期刊：ECS journal of solid state science and technology
作者：Jung-Hwan Lee; Heon-Yul Ryu; Jun-Kil Hwang; Nagendra Prasad Yerriboina; Tae‐Gon Kim; et al
出版日期：2019-01-01
求助人
大袁 在 2024-07-15 10:03:52 发布自浙江，悬赏 10 积分
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