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标题
Elimination of stress induced dislocation in deep Poly Sinker LDMOS technology
深度多晶硅LDMOS工艺中应力诱导位错的消除
相关领域
LDMOS 材料科学 薄脆饼 泄漏（经济） 位错 晶体管 制作 光电子学 氧化物 压力（语言学） 电气工程 复合材料 冶金 电压 工程类 医学 语言学 哲学 替代医学 病理 经济 宏观经济学
网址
https://doi.org/10.1016/j.microrel.2015.01.010
DOI
10.1016/j.microrel.2015.01.010 doi
其它 期刊：Microelectronics Reliability
作者：Xiangming Xu; Jingfeng Huang; Han Yu; Biao Ma; Peng-Fei Wang; et al
出版日期：2015-02-01
求助人
车剑锋 在 2025-02-07 16:48:44 发布自北京，悬赏 10 积分
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