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[求助补充材料]
 Characterization and formation mechanism of short step-bunching defects on 4H-SiC thick homoepitaxial films 4H-SiC同质外延厚膜上短台阶聚束缺陷的表征及形成机制
相关领域
表征（材料科学）
材料科学
机制（生物学）
外延
光电子学
化学
结晶学
纳米技术
物理
图层（电子）
量子力学
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| 其它 |
期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Ning Gu; Junwei Yang; Jikang Jian; Huaping Song; Xiaolong Chen 出版日期：2024-05-01 |
| 求助人 | |
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