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标题
High-Accuracy Proximity Effect Correction for Mask Writing
掩模写入的高精度邻近效应校正
相关领域
系列（地层学） 粒度 邻近效应（电子束光刻） 算法 价值（数学） 计算机科学 数学 统计 材料科学 纳米技术 抵抗 生物 操作系统 古生物学 电子束光刻 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1143/JJAP.46.826
DOI
10.1143/jjap.46.826 doi
求助人
shawn 在 2025-02-26 16:01:57 发布自上海，悬赏 10 积分
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