Single crystal diamond polishing assisted by inductively coupled plasma etching

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标题	Single crystal diamond polishing assisted by inductively coupled plasma etching 电感耦合等离子体刻蚀辅助单晶金刚石抛光相关领域抛光钻石感应耦合等离子体蚀刻（微加工）等离子体材料科学 Crystal（编程语言）等离子体刻蚀电感耦合等离子体质谱法矿物学化学冶金纳米技术计算机科学质谱法物理色谱法图层（电子）量子力学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2025.111978
DOI	10.1016/j.diamond.2025.111978 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Jiarong Yu; Xinyue Liu; Rongbin Xu; Daquan Yu 出版日期：2025-01-01
求助人	Eliauk 在 2025-02-21 17:05:49 发布自四川，悬赏 10 积分
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