The effect of sputtering power on the structural and tribological behaviors at elevated temperature of Ta/Si co-doped DLC films

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标题	The effect of sputtering power on the structural and tribological behaviors at elevated temperature of Ta/Si co-doped DLC films 溅射功率对Ta/Si共掺杂DLC薄膜结构和高温摩擦学行为的影响相关领域材料科学溅射摩擦学兴奋剂冶金工程物理复合材料薄膜纳米技术光电子学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130688
DOI	10.1016/j.surfcoat.2024.130688 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Yanxia Wu; Ke Li; Bang Shi; Jiawei Qi; Xiaoyan Zhou; et al 出版日期：2024-03-22
求助人	儒雅的悟空在 2024-10-16 10:59:33 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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