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 24.7% industrial tunnel oxide passivated contact solar cells prepared through tube PECVD integrating with plasma-assisted oxygen oxidation and in-situ doped polysilicon 电子管PECVD结合等离子体辅助氧氧化和原位掺杂多晶硅制备24.7%工业隧道氧化物钝化接触式太阳能电池
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
钝化
材料科学
太阳能电池
薄脆饼
饱和电流
氧化物
硅
光电子学
化学工程
纳米技术
图层（电子）
电压
电气工程
冶金
工程类
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| 其它 |
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Shuai Ma; Baochen Liao; Fei Qiao; Dong Ding; Chao Gao; et al 出版日期：2023-05-22 |
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