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 Low Concentration CO Gas Sensor Based on Pulsed-Heating and Wafer-Level Fabricated MEMS Hotplate 基于脉冲加热和晶片级MEMS热板的低浓度CO气体传感器
相关领域
微电子机械系统
材料科学
薄脆饼
光电子学
温度测量
微型加热器
电子工程
制作
工程类
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医学
替代医学
病理
量子力学
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Mingjie Li; Wenxin Luo; Wenjun Yan 出版日期：2024-01-29 |
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