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 Design and fabrication of dielectric diaphragm pressure sensors for applications to shock wave measurement in air 空气冲击波测量用介质膜片压力传感器的设计与制作
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：W. Parkes; V. Djakov; James S. Barton; Stuart Watson; William N. MacPherson; et al 出版日期：2007-06-05 |
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