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Hermetic Packaging Based on Cu–Sn and Au–Au Dual Bonding for High-Temperature Graphene Pressure Sensor
基于Cu-Sn和Au-Au双键合的高温石墨烯压力传感器密封封装
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期刊:Micromachines 作者:Junqiang Wang; Haikun Zhang; Xuwen Chen; Mengwei Li 出版日期:2022-07-28 |
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