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Ni/4H-SiC interaction and silicide formation under excimer laser annealing for ohmic contact
准分子激光退火欧姆接触下Ni/4H-SiC相互作用及硅化物形成
相关领域
材料科学
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期刊:Materialia 作者:Paolo Badalà; Simone Rascunà; Brunella Cafra; Anna Bassi; Emanuele Smecca; et al 出版日期:2019-11-13 |
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