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Evaluation of the increase in threading dislocation during the initial stage of physical vapor transport growth of 4H-SiC
4H-SiC物理气相输运生长初始阶段穿线位错增加的评价
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Hiromasa Suo; Susumu Tsukimoto; Kazuma Eto; Hiroshi Osawa; Tomohisa Kato; et al 出版日期:2018-05-02 |
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