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 A CMOS-MEMS Thermopile With Low Thermal Conductance and a Near-Perfect Emissivity in the 8–14-μm Wavelength Range 在8-14 μ m波长范围内具有低热导率和近乎完美发射率的CMOS-MEMS热电堆
相关领域
热电堆
响应度
材料科学
光电子学
发射率
CMOS芯片
微电子机械系统
蚀刻（微加工）
电导
热导率
红外线的
吸收（声学）
光学
纳米技术
复合材料
光电探测器
图层（电子）
物理
数学
组合数学
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