Extreme-low k porous pSiCOH dielectrics prepared by PECVD - 科研通

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标题	Extreme-low k porous pSiCOH dielectrics prepared by PECVD PECVD法制备极低k多孔pSiCOH电介质相关领域电介质等离子体增强化学气相沉积材料科学多孔性化学气相沉积制作化学工程沉积（地质）分析化学（期刊）复合材料纳米技术光电子学化学有机化学替代医学沉积物古生物学病理工程类生物医学
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-abstract/36/1/012202/59...
DOI	10.1116/1.5007177 doi
求助人	是贝吉塔的塔在 2024-01-10 21:31:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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