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 An investigation of hybrid laser–waterjet ablation of silicon substrates 激光——水射流复合烧蚀硅衬底的研究
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期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture 作者：Viboon Tangwarodomnukun; Jun Wang; Chuanzhen Huang; Hongtao Zhu 出版日期：2012-05-01 |
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