WOx-driven growth of 2H- and 3R-WS2 multilayers by physical vapor deposition

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标题	WOx-driven growth of 2H- and 3R-WS2 multilayers by physical vapor deposition 物理气相沉积WOx驱动生长2H-和3R-WS2多层相关领域化学气相沉积物理气相沉积沉积（地质）材料科学纳米技术化学工程气相沉积工程物理化学化学物理薄膜物理工程类地质学古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161676
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.161676 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Yeonjoon Jung; Donghoon Moon; Jae-Woong Joo; Jungcheol Kim; Siwon Oh; et al 出版日期：2024-11-01
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