| 标题 |
 Design and Fabrication of Cross-Beam Integrated Microsphere Piezoelectric MEMS Vector Hydrophone 交叉梁集成微球压电MEMS矢量水听器的设计与制作
相关领域
制作
压电
微电子机械系统
水听器
微球
梁（结构）
材料科学
声学
工程类
光电子学
物理
结构工程
医学
替代医学
病理
化学工程
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| 其它 |
期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Shuzheng Shi; Hailong Xu; Kai Kang; Hong Ma; Zhanying Wang; et al 出版日期：2024-03-18 |
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