标题 |
![]() 快速热处理对钝化隧道氧化物接触晶体硅体寿命和表面复合速度的影响
相关领域
硅
材料科学
热的
氧化物
晶体硅
光电子学
钝化
工程物理
重组
曲面(拓扑)
快速热处理
纳米技术
冶金
工程类
化学
热力学
物理
图层(电子)
几何学
生物化学
数学
基因
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Franz‐Josef Haug; Audrey Morisset; Mario Lehmann; Sofia Libraro; Ezgi Genç; et al 出版日期:2024-07-16 |
求助人 | |
下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|