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标题
Possibilities and limitations of the contact profilometry method for determining the height difference for monitoring topological elements and layer thickness
用于确定用于监测拓扑元素和层厚度的高度差的接触轮廓测量方法的可能性和局限性
相关领域
轮廓仪 微电子 材料科学 图层（电子） 光学 光电子学 纳米技术 复合材料 表面光洁度 物理
网址
https://doi.org/10.31145/2224-8412-2020-20--2-23-40
DOI
10.31145/2224-8412-2020-20--2-23-40 doi
其它 期刊：Nanostructures Mathematical Physics and Modelling
作者：А. А. Дедкова; Kireev V. Yu.; Makhiboroda M.A.
出版日期：2020-01-01
求助人
玛卡巴卡 在 2025-04-01 20:38:09 发布自北京，悬赏 10 积分
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