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 The effect of 130 keV N2+ ion implantation post-treatment on the micro- and nanostructure of sputtered chromium nitride thin films 130 keV N2+离子注入后处理对溅射氮化铬薄膜微纳结构的影响
相关领域
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Sascha Louring; Kristian Rechendorff; Klaus Pagh Almtoft; Benjamin Watts; Christian Jeppesen; et al 出版日期：2020-03-12 |
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