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标题
pMOSFET with CVD-grown 2D semiconductor channel enabled by ultra-thin and fab-compatible spacer doping
具有CVD生长的2D半导体沟道的pMOSFET,通过超薄和晶圆厂兼容的间隔物掺杂实现
相关领域
兴奋剂 MOSFET 限制 材料科学 带隙 物理 凝聚态物理 制作 纳米技术 光电子学 量子力学 晶体管 机械工程 医学 替代医学 电压 病理 工程类
网址
DOI
10.1109/iedm45625.2022.10019321 doi
其它 期刊:2022 International Electron Devices Meeting (IEDM)
作者:Terry Y.T. Hung; Mengzhan Li; Wei Sheng Yun; Sui An Chou; Shengkai Su; et al
出版日期:2022-12-03
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