Recurrent Neural-Network-Based Model Predictive Control of a Plasma Etch Process

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标题	Recurrent Neural-Network-Based Model Predictive Control of a Plasma Etch Process 基于递归神经网络的等离子刻蚀过程模型预测控制相关领域模型预测控制控制器（灌溉）控制理论（社会学）计算机科学 PID控制器蒙特卡罗方法模型降阶人工神经网络应用数学数学算法人工智能控制工程工程类统计生物投影（关系代数）温度控制控制（管理）农学
网址	https://doi.org/10.1021/acs.iecr.1c04251
DOI	10.1021/acs.iecr.1c04251 doi
其它	期刊：Industrial & Engineering Chemistry Research 作者：Tianqi Xiao; Zhe Wu; Panagiotis D. Christofides; Antonios Armaou; Dong Ni 出版日期：2021-12-28
求助人	StevenZhao 在 2024-11-07 14:23:16 发布自湖北，悬赏 10 积分
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