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Vacuum chamber conditioning and saturation simulation tool (VacuumCOST): Enabling time-dependent simulations of pressure and NEG sticking in UHV chambers
真空室调节和饱和度模拟工具(VacuumCOST):支持特高压室中压力和负粘附的时间相关模拟
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期刊:Vacuum 作者:Peter L. Henriksen; Marton Ady; R. Kersevan 出版日期:2023-03-13 |
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