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A Dark-Field Surface Defects Detection Method for Multi-Surface-Shape Large Aperture Optical Components
多面形大口径光学元件表面缺陷暗场检测方法
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期刊:Applied Optics 作者:Shiwei Guo; Shiling wang; Shaowen Wang; Lan Wu; Dong Liu 出版日期:2024-08-09 |
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