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Introduction of the MC3-II/GP system, medium current ion implanter with enhanced multi-charge beam current
介绍MC3-II/GP系统，具有增强的多电荷束流的中电流离子注入机
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网址
https://doi.org/10.1063/1.4766557
DOI
10.1063/1.4766557 doi
其它 期刊：AIP conference proceedings
作者：Masazumi Koike; Fumiaki Sato; Makoto Sano; Sho Kawatsu; Hiroyuki Kariya; et al
出版日期：2012-01-01
求助人
Jun 在 2024-12-18 14:25:55 发布自重庆，悬赏 10 积分
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