标题 |
Void migration, coalescence and swelling in fusion materials
双镶嵌铜互连结构中电迁移诱导空隙迁移的原位观察
相关领域
电迁移
铜互连
空隙(复合材料)
阴极
材料科学
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计算机科学
工程类
有机化学
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DOI |
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10.1063/1.1795978
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其它 |
期刊:Fusion Engineering and Design 作者:Geoff Cottrell 出版日期:2003-06-20 |
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