Enhancement of Piezoelectric Response in Scandium Aluminum Nitride Alloy Thin Films Prepared by Dual Reactive Cosputtering

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标题	Enhancement of Piezoelectric Response in Scandium Aluminum Nitride Alloy Thin Films Prepared by Dual Reactive Cosputtering 双反应共溅法制备氮铝铯合金薄膜的压电响应增强相关领域材料科学钪合金薄膜压电氮化物铝相（物质）复合材料冶金纳米技术有机化学化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1002/adma.200802611
DOI	10.1002/adma.200802611 doi
其它	期刊：Advanced Materials 作者：Morito Akiyama; Toshihiro Kamohara; Kazuhiko Kano; Akihiko Teshigahara; Yukihiro Takeuchi; et al 出版日期：2008-12-02
求助人	LPhy_Z 在 2025-02-06 17:59:21 发布自河南，悬赏 10 积分
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