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Influence of nitrogen partial pressure on the microstructure and morphological properties of sputtered RuN coatings
氮气分压对溅射RuN涂层组织和形貌性能的影响
相关领域
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期刊:Surface and Interface Analysis 作者:Jorge H. Quintero‐Orozco; Rogelio Ospina; Alexandre Mello; Daniel Escobar; E. Restrepo-Parra 出版日期:2017-07-19 |
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