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 MEMS Microgripper Actuators and Sensors: The State-of-the-Art Survey MEMS微夹持器致动器和传感器：最新调查
相关领域
微电子机械系统
执行机构
压阻效应
电容感应
机械工程
夹持器
位置传感器
计算机科学
引信
电气工程
材料科学
工程类
纳米技术
转子（电动）
冶金
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