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标题
Development of a miniaturized PZT-based MEMS Fabry-Perot interferometer with eutectic wafer bonding and its interface electronics
共晶晶片键合小型化PZT基MEMS法布里-珀罗干涉仪及其界面电子学的研制
相关领域
材料科学 光学 光电子学 微电子机械系统 气隙（管道） 锆钛酸铅 薄脆饼 折射率 执行机构 电介质 铁电性 复合材料 电气工程 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114934
DOI
10.1016/j.sna.2023.114934 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Md. Munirul Islam Tusher; Hyunho Lee; Sanghoon Lee; Keekeun Lee
出版日期：2023-12-27
求助人
HJJHJH 在 2025-02-25 17:07:15 发布自河南，悬赏 10 积分
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    HJJHJH HJJHJH 求助人 Lv475 发起了本次求助

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