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Comparison of diamond-like carbon films synthesized by 2.45 GHz microwave and 13.56 MHz multi-jet radiofrequency plasma sources
2.45 GHz微波和13.56 MHz多射流射频等离子体源合成类金刚石薄膜的比较
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:G. Fedosenko; D. Korzec; A. Schwabedissen; J. Engemann; E. Braca; et al 出版日期:2001-03-01 |
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