| 标题 |
 Harmonic suppression and uniformity improvement of plasma density in capacitively coupled plasma 电容耦合等离子体中谐波抑制与等离子体密度均匀性改善
相关领域
谐波
等离子体
容性耦合等离子体
电容
电容器
谐波
电压
波形
材料科学
感应耦合等离子体
沟道等离子体
光电子学
原子物理学
化学
电极
物理
声学
电气工程
工程类
物理化学
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Yeong-Min Lim; So Yeong Park; You He; Young-Hun Hong; Chin-Wook Chung 出版日期：2022-10-07 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
热心市民小红花
嗯哼
张三坟
pluto
坚强的广山
薰硝壤
yufanhui
自然的白竹
rosalieshi
汉堡包
paparazzi221
爆米花
搜集达人
shinysparrow
午见千山
Singularity
Yuxiao
tuanheqi
stuffmatter
梦之凌云
皖公网安备34019202002308
